华海清科申请化学抛光设备相关专利，化学机械抛光设备空间高效、加工良率高

4月23日消息，国家知识产权局信息显示，股份有限公司申请一项名为“化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统”的专利。申请公布号为CN121893158A，申请号为CN202610198479.7，申请公布日期为2026年4月21日，申请日期为2026年2月11日，发明人路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆，分类号B24B37/10、B24B37/30、B24B37/34、B24B37/04、B24B37/005、B24B7/22、B24B55/06、B24B1/00、B24B27/00、B24B53/017、B08B1/12、F26B21/00。

专利摘要显示，本发明提供一种化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统，化学机械抛光设备包括：沿化学机械抛光设备的长度方向顺序设置的前置单元、竖直传输单元和加工单元，竖直传输单元和加工单元具有独立的框架且相互间设置有缓震结构，加工单元包括位于下层的抛光区和位于上层的清洗区；抛光区包括至少一个抛光模块；清洗区包括至少一个清洗模块；竖直传输单元包括竖直传输模块、旋转清洗腔室和干燥腔室。本发明的化学机械抛光设备空间利用率高、流程高效、晶圆加工良率高。

华海清科成立于2013年4月10日，于2022年6月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为天津市。它是国内半导体CMP设备龙头企业，核心产品化学机械抛光设备技术领先，打破国外垄断。

华海清科从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及送转填权、半导体设备概念、百元股等概念板块。

2025年，华海清科营业收入46.48亿元，在行业11家公司中排名第4，远低于第一名的393.53亿元和第二名的123.85亿元，高于行业平均数63.23亿元和中位数14.26亿元。主营业务中，半导体装备收入40.54亿元，占比87.22%；半导体服务收入5.94亿元，占比12.78%。净利润方面，2025年为10.83亿元，行业排名同样是4/11，低于第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元，高于行业平均数9.73亿元和中位数1.77亿元。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610230602.92026-02-27CN121752004A2026-03-27王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤
2晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文
3化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆
4一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科
5一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑
6一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤
7抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
8抛光装置和晶圆加工设备发明专利公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
9晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成
10晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮
11晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节
12一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟
13一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛
14一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰
15一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏
16一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐
17一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤
18一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤
19晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春
20一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟
21一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科
22抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤
23抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科
24一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军
25一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤
26一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
27一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
28一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟
29晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科
30竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙
31一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤
32一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科
33卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒
34用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨
35一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
36一种晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510914728.32025-07-03CN120715797A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科
37一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤
38一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤
39一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备发明专利公布CN202510757567.12025-06-09CN120674375A2025-09-19孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤
40一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510732613.22025-06-04CN120244826B2025-08-19路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
41一种晶圆后处理装置、承载单元、翻转方法和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510732612.82025-06-04CN120637307A2025-09-12路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科
42一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510662276.42025-05-22CN120170629B2025-08-19熊伟、张俊杰、王佩佩
43一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647400.X2025-05-20CN120170636B2025-08-19王科、曹自立、李长坤、刘洪旺
44一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利实质审查的生效、公布CN202510600887.62025-05-12CN120311287A2025-07-15张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
45一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510600889.52025-05-12CN120134208B2025-08-19张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
46一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511100159.52025-05-12CN120734903A2025-10-03张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
47一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511100160.82025-05-12CN121083504A2025-12-09张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰
48一种晶圆边缘抛光系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510529334.62025-04-25CN120095665A2025-06-06路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建
49一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法发明专利公布CN202510529349.22025-04-25CN120287146A2025-07-11路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建
50一种晶圆边缘抛光系统实用新型授权CN202520801054.12025-04-25CN224102545U2026-04-10路新春、郭垒、邢浩鑫、杨洪建

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