6月13日消息,国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“电镀装置”的专利。申请公布号为CN122189807A,申请号为CN202411835091.0,申请公布日期为2026年6月12日,申请日期为2024年12月12日,发明人任正博、金一诺、石轶、贺宇、左经之,专利代理机构上海专利商标事务所有限公司,专利代理师杜娟,分类号C25D17/02、C25D17/12、C25D17/10。
专利摘要显示,本申请提供了一种电镀装置,包括电镀腔和金属单元,金属单元置于电镀腔的阳极腔内,电镀腔内容纳有包含金属单元对应金属的离子的电镀液;电镀腔内设置有惰性电极,惰性电极被配置成与金属单元在基板非镀敷期间电连接以形成回路,在回路中,惰性电极充当阳极,金属单元充当阴极,惰性电极和金属单元之间被施加一预设电压,预设电压低于金属单元在基板非镀敷期间发生电化学反应的阈值电压。本申请中的电镀装置在非镀敷期间,惰性电极充当阳极,金属单元充当阴极,惰性电极和金属单元之间所施加的电压低于金属单元在基板非镀敷期间发生电化学反应的阈值电压,使得金属单元处于较弱的阴极极化状态,抑制金属单元在电镀液中的自溶解。
天眼查数据显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立日期2005年5月17日,法定代表人HUI WANG,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本48016.4789万人民币,实缴资本48016.4789万人民币,注册地址为中国(上海)自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目181次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息721条,拥有行政许可32个。
盛美半导体设备(上海)股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 薄膜沉积装置及沉积方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610011040.9 | 2026-01-06 | CN122039027A | 2026-05-15 | 朱志君、赵伟、纪海远 |
| 2 | 检测工装、射频特性检测装置及等离子体装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610001596.X | 2026-01-04 | CN122063350A | 2026-05-19 | 罗雁燊、陈更明、成康、朱志君、张山 |
| 3 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 4 | 一种传感器校准装置及基板清洗机 | 发明专利 | 公布 | CN202511565215.2 | 2025-10-30 | CN121540106A | 2026-02-17 | 陈远、赵运翔、何西登 |
| 5 | 基板处理装置 | 发明专利 | 授权 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605B | 2026-04-17 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 6 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 7 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230B | 2026-01-27 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 8 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 9 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 10 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 11 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 12 | 密封件 | 外观专利 | 授权 | CN202530280752.7 | 2025-05-19 | CN309744402S | 2026-01-23 | 付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民 |
| 13 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 14 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 15 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 16 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 17 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 18 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 19 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 20 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411835091.0 | 2024-12-12 | CN122189807A | 2026-06-12 | 任正博、金一诺、石轶、贺宇、左经之 |
| 21 | 基板涂覆设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411824707.4 | 2024-12-11 | CN122194571A | 2026-06-12 | 吴均、杨仁政、程成、徐飞、吴雷 |
| 22 | 面板金属沉积及减薄设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411814873.6 | 2024-12-10 | CN122189813A | 2026-06-12 | 金一诺、杨宏超、王坚 |
| 23 | 基板电镀装置、电镀设备及基板电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411806689.7 | 2024-12-09 | CN122169189A | 2026-06-09 | 朱志君、王坚 |
| 24 | 基片处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411806716.0 | 2024-12-09 | CN122206198A | 2026-06-12 | 李昱、王文军、张晓燕 |
| 25 | 晶圆刻蚀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411796919.6 | 2024-12-06 | CN122206188A | 2026-06-12 | 陈子山、程龙跃、初振明、张晓燕 |
| 26 | 方形基板处理方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411777413.0 | 2024-12-04 | CN122161398A | 2026-06-05 | 吴勐、王坚、贾照伟、金一诺 |
| 27 | 泄漏检测系统及清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411766935.0 | 2024-12-03 | CN122142013A | 2026-06-05 | 路添竣、邓新平 |
| 28 | 喷嘴组件及基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411753675.3 | 2024-11-29 | CN122098874A | 2026-05-29 | 徐飞、袁祎、吴均、程成、王晖、李康植 |
| 29 | 机械手、基片处理设备及机械手的故障检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411745347.9 | 2024-11-29 | CN122100059A | 2026-05-29 | 刘权、贾社娜、张大海 |
| 30 | 用于喷淋装置的流量控制方法、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202411745318.2 | 2024-11-29 | CN122124936A | 2026-06-02 | 刘昊坤、庞昊、陈福平、王晖 |
| 31 | 半导体设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411717352.9 | 2024-11-26 | CN122121581A | 2026-05-29 | 邓新平、张健、路添竣 |
| 32 | 基片传输系统静电消除装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411715143.0 | 2024-11-26 | CN122121029A | 2026-05-29 | 杨超繁、贾社娜、张大海、王晖 |
| 33 | 研磨头及研磨装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411692016.3 | 2024-11-22 | CN122071104A | 2026-05-22 | 王晖、杨宏超、王坚、金一诺、陈柏霖 |
| 34 | 研磨装置及研磨设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411692115.1 | 2024-11-22 | CN122077511A | 2026-05-26 | 王晖、杨宏超、王坚、金一诺、陈柏霖 |
| 35 | 封闭组件和电镀设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411667423.9 | 2024-11-20 | CN122071814A | 2026-05-22 | 吉来、汪若飞、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖 |
| 36 | 基板清洗装置及基板清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411580035.7 | 2024-11-06 | CN122069957A | 2026-05-19 | 王晖、张晓燕、初振明、徐时座、单昌锋、李亚洲、周梓鑫 |
| 37 | 一种清洗装置和清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411572087.X | 2024-11-05 | CN121988564A | 2026-05-08 | 王晖、邓新平、张峰榕 |
| 38 | 喷淋装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411563876.7 | 2024-11-04 | CN122028672A | 2026-05-12 | 陈福平、庞昊、张峰榕、王晖 |
| 39 | 热板降温装置及基板热处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411558781.6 | 2024-11-01 | CN121995700A | 2026-05-08 | 张剑松、王文军、王晖、李康植 |
| 40 | 衬底处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411558672.4 | 2024-11-01 | CN122028662A | 2026-05-12 | 周世豪、张晓燕 |
| 41 | 基板热处理装置及涂覆设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411516794.7 | 2024-10-28 | CN121969060A | 2026-05-01 | 耿其健、刘畅、王杰、仰庶、张晓燕、陈添喆、王晖 |
| 42 | 供液装置和基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411490004.2 | 2024-10-23 | CN121925057A | 2026-04-24 | 马泽贤、刘凯、初振明、张晓燕 |
| 43 | 电镀设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411466281.X | 2024-10-18 | CN121896705A | 2026-04-21 | 王晖、王坚、杨宏超、刁建华、肖炎、贾照伟 |
| 44 | 电场控制元件及电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411396225.3 | 2024-09-30 | CN121760043A | 2026-03-31 | 杨宏超、贾照伟、王坚、王晖、刁建华、吴勐 |
| 45 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411383228.3 | 2024-09-29 | CN120033106A | 2025-05-23 | 王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨 |
| 46 | 无应力抛光装置及抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411386474.4 | 2024-09-29 | CN121777024A | 2026-04-03 | 金一诺、王晖、王坚 |
| 47 | 基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411366532.7 | 2024-09-27 | CN121772641A | 2026-03-31 | 吴勐、贾照伟、王坚、王晖 |
| 48 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411358048.X | 2024-09-26 | CN121192044A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 49 | 遮蔽排气环及反应腔结构 | 发明专利 | 公布 | CN202411356693.8 | 2024-09-26 | CN121737675A | 2026-03-27 | 董智超、张山、陈宇、白晛祐、金京俊、周培垄、王晖 |
| 50 | 晶圆检测装置 | 发明专利 | 著录事项变更、公布 | CN202411352377.3 | 2024-09-26 | CN121740133A | 2026-03-27 | 刘宁、焦欣欣、侯瀚、王俊、吴均、王晖 |
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